中强达

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深圳市中达强电炉有限公司
产品详情
半导量子超导体材料真空烧结炉
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半导量子超导体材料真空烧结炉

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量子材料专用型大尺寸真空热处理系统

设备概述

ZDQZK5A-100-800是一款针对高端量子材料、超导材料及精密电子元件研发生产需求设计的专业真空热处理设备。采用双区独立控温技术和超高真空系统,确保大尺寸样品处理时的温度均匀性和工艺一致性。

核心技术创新

双区精准温控系统

  • 独立控温设计:两个加热区独立控制,可分别设定温度曲线

  • 高均匀性保障:空载状态下实现±5℃的温度均匀度

  • 大尺寸处理能力:400L有效容积(1000×400×400mm)

超洁净真空环境

  • 高真空性能:极限真空度6×10⁻²Pa

  • 合金炉胆设计:选用特种合金材料,耐高温不变形

  • 快速抽真空:优化真空系统配置,缩短工艺准备时间

智能工艺管理系统

  • 15寸工业触控屏:直观的人机交互界面

  • 全流程数据记录:自动存储温度、真空度、时间等工艺参数

  • 智能报表生成:支持自定义报表格式和数据导出

技术参数详表

参数类别技术指标
基本参数型号:ZDQZK5A-100-800

额定功率:100kW

最高温度:800℃
工作区尺寸1000×400×400mm(长×宽×高)
温控系统2区独立控温

温度均匀度:±5℃(空载)
真空系统极限真空度:6×10⁻²Pa
炉体结构炉胆材质:特种合金

外观颜色:米白色
控制系统15英寸智能触摸屏

数据功能:无纸记录、曲线存储、报表输出

专业应用领域

前沿科学研究

  • 量子计算材料制备

  • 超导薄膜热处理

  • 拓扑材料合成

  • 低维材料烧结

半导体与通信

  • 5G射频器件封装

  • 功率半导体退火

  • 光电材料处理

  • 微波组件钎焊

特种金属加工

  • 铍铜合金时效处理

  • 无氧铜精密退火

  • 双金属扩散连接

  • 贵金属触点烧结

先进陶瓷制备

  • 结构陶瓷高温处理

  • 电子陶瓷金属化

  • 功能陶瓷烧结

  • 陶瓷基复合材料

工艺能力矩阵

工艺类型温度范围适用材料工艺特点
真空退火200-800℃金属、合金消除应力,改善组织
真空烧结400-800℃陶瓷、粉末材料致密化处理
真空钎焊300-800℃异种材料连接无氧化连接
真空时效150-600℃时效硬化合金性能优化处理
材料合成300-800℃新型复合材料原位反应合成

智能控制系统特色

工艺管理功能

  • 多段程序编程(最多99段)

  • 工艺配方库管理

  • 实时数据监控

  • 历史数据追溯

质量控制体系

  • 工艺参数自动记录

  • 异常报警与记录

  • 批次报告自动生成

  • 数据加密与备份

远程管理支持

  • 网络数据接口

  • 远程监控功能

  • 故障诊断系统

  • 软件在线升级

安全与可靠性设计

多重安全保护

  1. 电气安全系统

    • 过流、过压、缺相保护

    • 接地故障检测

    • 紧急停止按钮

  2. 工艺安全监控

    • 超温自动断电

    • 真空度异常报警

    • 冷却水流量监测

  3. 机械安全设计

    • 门安全联锁装置

    • 气压平衡系统

    • 防爆泄压装置

维护便利性

  • 模块化真空系统设计

  • 快速更换加热元件

  • 在线诊断功能

  • 预防性维护提醒

专业技术服务

售前支持

  • 材料工艺可行性分析

  • 设备配置方案优化

  • 实验室布局规划

售后保障

  • 专业操作培训

  • 定期维护保养

  • 快速备件供应

  • 工艺优化咨询

研发合作

  • 新材料工艺开发

  • 设备功能定制

  • 联合技术攻关

成功应用案例

  • 某量子技术研究所:用于超导量子比特的封装处理

  • 半导体龙头企业:5G芯片封装材料的真空退火

  • 国家级材料实验室:新型拓扑材料的合成研究

  • 航空航天单位:特种连接器的真空钎焊


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中达强半导量子超导体材料真空烧结炉是一种用于制备半导体和超导体材料的高端设备,主要用于在真空或特定气氛下进行高温烧结。以下是该设备的关键特点和应用:

关键特点

  1. 真空环境:确保材料在无氧、无污染条件下烧结,避免氧化和杂质。

  2. 高温控制:精确的温度控制系统,可达2000°C以上,满足不同材料的烧结需求。

  3. 气氛控制:支持多种气氛(如氮气、氩气、氢气),适应不同材料的烧结要求。

  4. 均匀加热:采用先进加热技术,确保炉内温度均匀,提升材料性能。

  5. 自动化控制:配备PLC或计算机控制系统,实现自动化操作和实时监控。

应用领域

  1. 半导体材料:用于硅、锗、砷化镓等材料的烧结,提升其电学性能。

  2. 超导体材料:用于高温超导体如YBCO、BSCCO的制备,优化超导性能。

  3. 陶瓷材料:用于结构陶瓷和功能陶瓷的烧结,提升其机械和电学性能。

  4. 金属材料:用于难熔金属及其合金的烧结,改善其物理和化学性能。

优势

  1. 高纯度:真空环境确保材料高纯度,减少杂质。

  2. 高性能:精确的温度和气氛控制,提升材料性能。

  3. 高效率:自动化控制提高生产效率,降低人工成本。

  4. 多功能性:适用于多种材料,应用广泛。

总结

中达强半导量子超导体材料真空烧结炉是制备高性能半导体和超导体材料的关键设备,具备高纯度、高性能和高效率的特点,广泛应用于半导体、超导体、陶瓷和金属材料的烧结。


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