蓝宝石退火炉是一种专门用于蓝宝石晶体(单晶Al₂O₃)热处理的高端设备,主要用于消除蓝宝石在生长或加工过程中产生的内应力,改善其光学、机械和热学性能。以下是蓝宝石退火炉的主要特点、应用及技术参数:
主要特点
高温性能
精确控温
气氛控制
均匀加热
高效冷却系统
智能化操作
安全可靠
应用领域
蓝宝石晶体退火
LED衬底材料处理
光学元件加工
科研实验
技术参数(示例)
参数项 | 典型值或范围 |
---|
最高温度 | 1600°C - 2000°C(根据需求定制) |
控温精度 | ±1°C |
温度均匀性 | ±2°C - ±5°C |
真空度 | 10^-3 Pa - 10^-5 Pa |
气氛控制 | 真空、氮气、氩气等 |
炉膛尺寸 | 根据需求定制(如300mm×300mm) |
冷却方式 | 水冷或气冷 |
电源要求 | 380V,50Hz/60Hz |
优势
高质量退火效果
工艺灵活性
高效节能
自动化程度高
总结
蓝宝石退火炉是蓝宝石晶体加工和光学元件制造中不可或缺的关键设备,其高精度控温、均匀加热和气氛控制能力,能够显著提升蓝宝石的性能,满足LED、光学和半导体等领域的高端需求。
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